Maszyna do rozrzedzania płytek z węglika krzemu jest używana głównie do rozrzedzania materiałów podłoża, takich jak płytka krzemowa, arsenek galu, ceramika z węglika krzemu, ceramika cyrkonowa, grafit, tantalan litu i tak dalej.
Pionowe szlifierki do płytek o wysokiej precyzji mogą szlifować materiały półprzewodnikowe trzeciej generacji, takie jak SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Seria DL-GSD to samodzielnie wykonana szlifierka w Chinach, a jej wydajność osiągnęła światowy standard.